BROOKS INSTRUMENT

Massavirtasäädin GF100/120/125

Metallitiivisteillä

Massavirtasäätimet sopivat erityisesti puolijohdeteollisuuden käyttöön, erittäin nopealla vasteajalla.
  • Kaikille kaasuille aina 34 bar paineeseen ja 50 °C lämpötilaan
  • Suunniteltu elektroniikkateollisuuden käyttöön
  • Erittäin nopea venttiilin reagointiaika: 300 ms - 700 ms
  • Serviceportin kautta useampi kaasu valittavissa, ilman instrumentin irroitusta

Valitse tuote

Valitse tuote
BROOKS INSTRUMENT

Tallenna pdf

Tekniset tiedot ja tiedostot

Tuotekuvaus

Tarvikkeet ja ehdotetut tuotteet

Valitse tuote

Tekniset tiedot

Tiedot
Aineen kanssa kosketuksissa olevien osien materiaali Ruostumaton teräs 304, Ruostumaton teräs 316, Hastelloy
Max. paine 55 bar
Tiiviys 1x10-10 atm. cc/sec He
Säätöalue 2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
Vasteaika < 1 s
Virtausalue max. 0,003 ln/min
Max. aineen lämpötila 50 °C
Min. aineen lämpötila 10 °C
Max. käyttölämpötila 50 °C
Min. käyttölämpötila 10 °C
Hyväksynnät CE, RoHS, SEMI F20 kompatibel, EN61010-1, EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

*Invisible Heading*
Paine-ero 3-860 mln/min = 7-45 psid, 861-7 200 mln/min = 10-45 psid, 7 201-55000 mln/min = 15-45 psid
Normaalisti kiinni oleva venttiili sulkeutuu <1%F.S
Data RS485, DeviceNet
Normaalisti auki oleva venttiili sulkeutuu < 2%F.S
Diagnostiikkaportti RS-485 via 2.5mm jack
Max. järjestelmän paine 34 bar
Murtumispaine 206 bar
Venttiilin tyyppi NC/NO
Pinnan viimeistely 10 µm Ra

Tiedostot

Mitat ja kytkennät

Tuotekuvaus

Massavirtaussäädin sopii kaikille kaasuille aina 34 bar paineeseen ja 50 °C lämpötilaan. High purity tai ultra high purity vaatimukset täyttävä terminenmassavirtasäädin metallitiivisteillä. Täysin metallitiivisteillä suunniteltu elektroniikkateollisuuden käyttöön. GF100 25,4µ cm Ra, GF 120 & GF125 0,1µm Ra-pinnoituksen viimeistely.

 

Säätimessä on myös erittäin nopea venttiilin reagointiaika: 300ms-700ms aina 300 nlm virtauksiin (N2 ref). Serviceportin kautta useampi kaasu valittavissa, joka onnistuu ilman instrumentin irroitusta.

 

Pienemmille virtausalueille GF100/120 55 nlm N2 0°C 1atm ja GF101/121 jopa 300 nlm. GF125 mahdollistaa syöttöpaineen vaihtelun kompensoimalla paineenmittauksen itse säätimessä.

Tarvikkeet

Suosikit Tilausnumero: Aineen kanssa kosketuksissa olevien osien materiaali Max. paine Tiiviys Säätöalue Vasteaika Virtausalue max. Max. aineen lämpötila Min. aineen lämpötila Max. käyttölämpötila Min. käyttölämpötila Hyväksynnät Paine-ero Normaalisti kiinni oleva venttiili sulkeutuu Data Normaalisti auki oleva venttiili sulkeutuu Diagnostiikkaportti Max. järjestelmän paine Murtumispaine Venttiilin tyyppi Pinnan viimeistely Hinta
gf100
Massavirtasäädin GF-100
Tuotenumero:
GF-100 Kopioitu!
Ruostumaton teräs 304, Ruostumaton teräs 316, Hastelloy
55 bar
1x10-10 atm. cc/sec He
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
< 1 s
0,003 ln/min
50 °C
10 °C
50 °C
10 °C
CE, RoHS, SEMI F20 kompatibel, EN61010-1, EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
3-860 mln/min = 7-45 psid, 861-7 200 mln/min = 10-45 psid, 7 201-55000 mln/min = 15-45 psid
<1%F.S
RS485, DeviceNet
< 2%F.S
RS-485 via 2.5mm jack
34 bar
206 bar
NC/NO
10 µm Ra
gf100
Massavirtasäädin GF-120
Tuotenumero:
GF-120 Kopioitu!
Ruostumaton teräs 304, Ruostumaton teräs 316, Hastelloy
55 bar
1x10-10 atm. cc/sec He
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
< 1 s
0,003 ln/min
50 °C
10 °C
50 °C
10 °C
CE, RoHS, SEMI F20 kompatibel, EN61010-1, EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
3-860 mln/min = 7-45 psid, 861-7 200 mln/min = 10-45 psid, 7 201-55000 mln/min = 15-45 psid
<1%F.S
RS485, DeviceNet
< 2%F.S
RS-485 via 2.5mm jack
34 bar
206 bar
NC/NO
5 µm Ra
gf100
Massavirtasäädin GF-125
Tuotenumero:
GF-125 Kopioitu!
Ruostumaton teräs 304, Ruostumaton teräs 316, Hastelloy
11 bar
1x10-10 atm. cc/sec He
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
300 ms (3-860 mln/min, 400 ms (861-7 200 mln/min),500 ms (7 201-30 000 mln/min), < 700 ms (30 001-55 000 mln/min)
0,003 ln/min
50 °C
10 °C
50 °C
10 °C
CE, RoHS, SEMI F20 kompatibel, EN61010-1, EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
3-860 mln/min = 7-45 psid, 861-7 200 mln/min = 10-45 psid, 7 201-55000 mln/min = 15-45 psid
<1%F.S
RS485, DeviceNet
< 2%F.S
RS-485 via 2.5mm jack
7 bar
34 bar
NC/NO
5 µm Ra
gf100
Massavirtasäädin GF120
Tuotenumero:
GF120 Kopioitu!
34,5 bar
<1 s
50 °C

Valittu tuote

Valitse tuote listalta.

Teknisiä neuvoja
Rami RaekangasRami Raekangas

Tuotealuepäällikkö

+358403412476 040 3412 476

Sähköposti Sähköposti

Asiakaspalvelu

Asiakaspalvelumme vastaa kysymyksiin ja etsii ratkaisut ongelmiin. Heille voit jättää myös tilauksesi.

phone 0207 499 499

Sähköposti Sähköposti

comments Chatti