BROOKS INSTRUMENT

Massavirtasäädin GF100/120/125 metallitiivisteillä.

Erityisesti puolijohdeteollisuuden käyttöön tarkoiteut säätimet erittäin nopealla vasteajalla.

High purity tai ultra high purity vaatimukset täyttävä terminenmassavirtasäädin metallitiivisteillä.

 

Pienemmille virtausalueille GF100/120 55 nlm N2 0°C 1atm ja GF101/121 jopa 300 nlm.

GF125 mahdollistaa syöttöpaineen vaihtelun kompensoimalla paineenmittauksen itse säätimessä.

Lue lisää
  • Kaikille kaasuille aina 34 bara paineeseen ja 50C lämpötilaan
  • Täysin metallitiivisteillä suunniteltu elektroniikkateollisuuden käyttöön. GF100 25,4µ cm Ra, GF 120 & GF125 0,1µm Ra pinnoituksen viimeistely.
  • Erittäin nopea venttiilin reagointiaika: 300ms-700ms Aina 300 nlm virtauksiin (N2 ref)
  • Serviceportin kautta useampi kaasu valittavissa, ilman instrumentin irroitusta

Valitse tuote

Valitse tuote

Valitse tuote

Tekniset tiedot

Tiedot

Aineen kanssa kosketuksissa olevien osien materiaali Ruostumaton teräs 304, Ruostumaton teräs 316, Hastelloy
Max. paine 55 bar
Tiiviys 1x10-10 atm. cc/sec He
Säätöalue 2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
Vasteaika < 1 s
Virtausalue max. 0,003 ln/min
Max. aineen lämpötila 50 °C
Min. aineen lämpötila 10 °C
Max. käyttölämpötila 50 °C
Min. käyttölämpötila 10 °C
Hyväksynnät CE, RoHS, SEMI F20 kompatibel, EN61010-1, EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

*Invisible Heading*

Paine-ero 3-860 mln/min = 7-45 psid, 861-7 200 mln/min = 10-45 psid, 7 201-55000 mln/min = 15-45 psid
Normaalisti kiinni oleva venttiili sulkeutuu <1%F.S
Data RS485, DeviceNet
Normaalisti auki oleva venttiili sulkeutuu < 2%F.S
Diagnostiikkaportti RS-485 via 2.5mm jack
Max. järjestelmän paine 34 bar
Murtumispaine 206 bar
Venttiilin tyyppi NC/NO
Pinnan viimeistely 10 µm Ra

Tuotekuvaus

Erityisesti puolijohdeteollisuuden käyttöön tarkoiteut säätimet erittäin nopealla vasteajalla.

High purity tai ultra high purity vaatimukset täyttävä terminenmassavirtasäädin metallitiivisteillä.

 

Pienemmille virtausalueille GF100/120 55 nlm N2 0°C 1atm ja GF101/121 jopa 300 nlm.

GF125 mahdollistaa syöttöpaineen vaihtelun kompensoimalla paineenmittauksen itse säätimessä.

Tarvikkeet

Lisää luettavaa

Suosikit Tilausnumero: Aineen kanssa kosketuksissa olevien osien materiaali Max. paine Tiiviys Säätöalue Vasteaika Virtausalue max. Max. aineen lämpötila Min. aineen lämpötila Max. käyttölämpötila Min. käyttölämpötila Hyväksynnät Paine-ero Normaalisti kiinni oleva venttiili sulkeutuu Data Normaalisti auki oleva venttiili sulkeutuu Diagnostiikkaportti Max. järjestelmän paine Murtumispaine Venttiilin tyyppi Pinnan viimeistely Hinta
Ruostumaton teräs 304, Ruostumaton teräs 316, Hastelloy
55 bar
1x10-10 atm. cc/sec He
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
< 1 s
0,003 ln/min
50 °C
10 °C
50 °C
10 °C
CE, RoHS, SEMI F20 kompatibel, EN61010-1, EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
3-860 mln/min = 7-45 psid, 861-7 200 mln/min = 10-45 psid, 7 201-55000 mln/min = 15-45 psid
<1%F.S
RS485, DeviceNet
< 2%F.S
RS-485 via 2.5mm jack
34 bar
206 bar
NC/NO
10 µm Ra
Ruostumaton teräs 304, Ruostumaton teräs 316, Hastelloy
55 bar
1x10-10 atm. cc/sec He
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
< 1 s
0,003 ln/min
50 °C
10 °C
50 °C
10 °C
CE, RoHS, SEMI F20 kompatibel, EN61010-1, EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
3-860 mln/min = 7-45 psid, 861-7 200 mln/min = 10-45 psid, 7 201-55000 mln/min = 15-45 psid
<1%F.S
RS485, DeviceNet
< 2%F.S
RS-485 via 2.5mm jack
34 bar
206 bar
NC/NO
5 µm Ra
Ruostumaton teräs 304, Ruostumaton teräs 316, Hastelloy
11 bar
1x10-10 atm. cc/sec He
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
300 ms (3-860 mln/min, 400 ms (861-7 200 mln/min),500 ms (7 201-30 000 mln/min), < 700 ms (30 001-55 000 mln/min)
0,003 ln/min
50 °C
10 °C
50 °C
10 °C
CE, RoHS, SEMI F20 kompatibel, EN61010-1, EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
3-860 mln/min = 7-45 psid, 861-7 200 mln/min = 10-45 psid, 7 201-55000 mln/min = 15-45 psid
<1%F.S
RS485, DeviceNet
< 2%F.S
RS-485 via 2.5mm jack
7 bar
34 bar
NC/NO
5 µm Ra
34,5 bar
<1 s
50 °C

Valittu tuote

Valitse tuote listalta.

Teknisiä neuvoja
Rami RaekangasRami Raekangas

Tuotealuepäällikkö

+358403412476 040 3412 476

Sähköposti Sähköposti

Asiakaspalvelu

Asiakaspalvelumme vastaa kysymyksiin ja etsii ratkaisut ongelmiin. Heille voit jättää myös tilauksesi.

phone 0207 499 499

Sähköposti Sähköposti

comments Chatti