Brooksin uudet VersaTorr-sarjan anturit
VersaTorr-sarjan anturit mahdollistavat samalla mittarilla todella laajan alueen mittaamisen tarkasti.
Tuoteuutiset
Uutuudet vakuumin ja epäsuoran vakuumin mittaukseen!
Uusissa VersaTorr-antureissa käytetään kahden tai useamman eri mittaustekniikan yhdistelmää, jolla saadaan erittäin laaja mittausalue samalle anturille.
BVT100-sarjan anturit käyttävät yhdistelmäanturina MEMS Micro-Pirania ja Piezoa, jolloin saadaan mittausalueeksi 1,5 - 1000 Torr. Anturin kompakti koko tekee siitä ihanteellisen massaspektrometreille, PVD-pinnoituksille ja puolijohdeteollisuuden sovelluksille.
BVT200-sarjan anturit yhdistävät vielä kolmannen mittaustekniikan mukaan, joka mahdollistaa niiden suoran käytön vakuumissa. Kapasitiivisen anturin lisääminen mahdollistaa enemmän käyttökohteita sekä jopa suoran vakuumin mittaamisen.
Kaikkiin VersaTorr-antureihin on saatavilla 0-3 relelähtöä, mihin raja-arvot voidaan asettaa itse. Tämä helpottaa varastointia ja mahdollistaa saman instrumentin käytön useissa ei kohteissa.
Laaja mitta-alue molemmilla
1.5 - 1000 Torr
BVT100/125 Tarkkuus
7,5x10-6 ... 7,49x10-5 Torr ±25% lukemasta
7,5x10-5 ... 7,49 Torr ±5% lukemasta
7,5 ... 74,9 Torr ±1% lukemasta
75 ... 599 Torr ±0,5% lukemasta
600 ... 824 Torr ±0,25% lukemasta
825 ... 1000 Torr ±0,5% lukemasta
tutustu tuotteisiin
